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1、重慶大學(xué)碩士學(xué)位論文CdInO薄膜的制備及光電性能研究姓名：楊豐帆申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：王萬(wàn)錄方亮20060401重慶大學(xué)碩士學(xué)位論文英文摘要IIABSTRACTCdIn2O4(CIO)thinfilm，ntypeternarymentaloxidesthinfilmmaterialshasattractedmuchattentionfitsexcellentopticalelectricalpropertiesf
2、egroundfcomprehensiveapplicationbecomeahotpointintheresearchfieldoftransparentconductingoxides(TCO)thinfilm.Atpresentthedirectcurrent(DC)reactivemagronsputteringmethodiswidelyusedinpreparingTCOthinfilminbusinesswhilefews
3、tudiesonhighqualityCIOthinfilmpreparedinthismethodwererepted.ThekeyfactwhichhasimpededapplicationofCIOthinfilminpracticeisthelackoflowcostlargeareacommercializedpreparationtechnology.Therefeinthispaperbasedonthereviewoft
4、hedevelopmentofCIOthinfilmbothathomeabroadadoptingthemethodsofexperimentalresearchtheeticalanalysisthepreparingconditionstheopticalelectricalpropertiesofCIOthinfilmwerestudieddeeply.InthispaperCIOthinfilmwaspreparedbyDCr
5、eactivemagronsputteringmethodinJGP450typehighvacuummagronsputteringapparatusthesurfacemphologystructureoftheCIOthinfilmwereanalyzedbyAFMXRDXPS.TheresultsindicatethattheCIOthinfilmispolycrystallinestructureitssurfacerough
6、nessis1.6nm～2.4nmwiththecrystallinesizebeing13nm～35nmverycleargrainboundary.TheCIOthinfilmconsistsofCIOphaseIn2O3phasesomesamplesstillcontainminimalCdOphaseaswellCd、In、OCelementsareincludedinCIOthinfilmwhichisinoxygendef
7、icientstate.TheopticalelectricalpropertiesoftheCIOthinfilmpreparedindifferentpreparingconditionswereanalyzedbyHalltestingapparatusdoublelightultravioletvisiblephotometersoonexperimentresultsshowthattheelectricalpropertyi
8、simprovedwiththedecreaseofoxygenconcentrationtheincreaseofsubstratetemperaturetheproperprolongationofthetimewhiletheopticalpropertyisimprovedwiththeincreaseofoxygenconcentrationtheincreaseofsubstratetemperaturetheproperp
9、rolongationofthetime.TheopticalelectricalpropertiescrystaldegreeofCIOthinfilmareimprovedafterbeingannealedinN2.Therelationshipbetweenopticalelectricalpropertiespreparingconditionswassummarizedfromlotsofexperimentdata.Iti
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