基于輔助變壓器軟開關(guān)的磁控濺射電源主電路研究.pdf

1、磁控濺射作為一種鍍膜工藝，能有效提高材料的耐腐蝕性、耐磨損性、抗氧化性而受到重視。但磁控派射負載變化范圍大且具有非線性的特點，對磁控濺射電源提出了較高的要求。在電源輸出寬范圍可調(diào)的條件下，變換器損耗成為制約磁控濺射電源性能提升的重要問題。本文圍繞磁控濺射電源主電路的拓撲結(jié)構(gòu)、寬范圍的軟開關(guān)實現(xiàn)等問題展開研究。
　　首先，在分析多種加輔助網(wǎng)絡(luò)的全橋變換器的基礎(chǔ)上，確定采用加輔助變壓器ZVS全橋變換器拓撲，并對其拓撲結(jié)構(gòu)和工作原理作了

2、詳細分析。該拓撲利用阻斷電容對變壓器原邊環(huán)流進行抑制，降低了環(huán)流損耗，同時利用輔助變壓器網(wǎng)絡(luò)為滯后臂開關(guān)管提供足夠的能量，使變換器能夠?qū)崿F(xiàn)寬負載范圍的軟開關(guān)。
　　其次，對變換器的關(guān)鍵問題進行了詳細的分析，主要包括滯后臂ZVS軟開關(guān)的實現(xiàn)、變壓器原邊環(huán)流的抑制、占空比丟失和變壓器二次側(cè)寄生振蕩等問題。然后對影響變換器性能的主要參數(shù)進行研究，推導(dǎo)了阻斷電容、變壓器勵磁電感和輔助電容的計算公式。根據(jù)磁控濺射電源的設(shè)計指標，對主電路的參