可低壓驅(qū)動(dòng)的鈦酸鋇薄膜場發(fā)射研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、場發(fā)射平板顯示技術(shù)是實(shí)現(xiàn)陰極射線管顯示平板化的方案之一，其核心技術(shù)是可低壓驅(qū)動(dòng)的高亮度場發(fā)射陰極。文中提出了一種結(jié)合了Spindt微尖和傳統(tǒng)金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MOS)結(jié)構(gòu)兩者的優(yōu)點(diǎn)的新型的場發(fā)射陰極結(jié)構(gòu)，即利用鈦酸鋇薄膜代替MOS結(jié)構(gòu)中的氧化物絕緣層，用具有微孔網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的薄金屬膜作為柵極代替MOS結(jié)構(gòu)中的金屬層。本文使用射頻磁控濺射法沉積鈦酸鋇薄膜在硅襯底上，之后再在此基礎(chǔ)上沉積大約15nm厚的金膜作為柵極。利用掃描電子顯微鏡、能量

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