硅基MEMS微波帶通濾波器的設(shè)計及制備.pdf

1、作為實現(xiàn)信道頻譜分配的關(guān)鍵無源器件，微波濾波器在無線通信等領(lǐng)域發(fā)揮著極其重要的作用?，F(xiàn)代無線通信技術(shù)的快速發(fā)展使無線電頻譜資源顯得相對稀缺，人類社會對于通信設(shè)備提出了更加嚴(yán)苛的要求，如小型化、集成化、高性能、低成本等。因此，實現(xiàn)體積小、重量輕、易加工、成本低、品質(zhì)因數(shù)高且易于集成的無源濾波器，業(yè)已成為當(dāng)前微波技術(shù)領(lǐng)域的研究熱點。
　　本文在總結(jié)國內(nèi)外微波濾波器及RF MEMS濾波器研究和發(fā)展?fàn)顩r的基礎(chǔ)上，從帶通濾波器的設(shè)計原理出發(fā)

2、，提出系統(tǒng)的總體解決方案，包括采用帶狀線交指結(jié)構(gòu)實現(xiàn)濾波、開路端SIR實現(xiàn)結(jié)構(gòu)緊湊的準(zhǔn)叉指帶通濾波器、接地共平面波導(dǎo)實現(xiàn)輸入輸出、硅基MEMS技術(shù)等。對性能和結(jié)構(gòu)參數(shù)各異的濾波器進(jìn)行分析和設(shè)計，并采用三維電磁仿真軟件CST對濾波器進(jìn)行模擬仿真。
　　根據(jù)器件結(jié)構(gòu)繪制版圖制造掩膜版，在對關(guān)鍵工藝進(jìn)行單項實驗驗證的基礎(chǔ)上整合出完整的CMOS-MEMS兼容的工藝流程，經(jīng)過多次工藝流片，實現(xiàn)了制作在高阻硅襯底上的MEMS帶通濾波器芯片：雙