低氣壓氬射頻感應(yīng)放電計(jì)算模型的探討.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、該文分析了低氣壓射頻感應(yīng)放電的基本過程,采用流體方程描述帶電粒子的平衡和電子能量平衡,通過放電中電子吸收功率密度將電磁場(chǎng)波動(dòng)方程和流體方程耦合起來,數(shù)值計(jì)算不時(shí)合方程組可以得到電場(chǎng)分布和等離子體參數(shù).采用傳統(tǒng)的描述射頻感應(yīng)放電的變壓器模型,從實(shí)驗(yàn)測(cè)量的線圈電流得到放電功率,從而給出電磁場(chǎng)的邊界條件.在射頻工作條件下經(jīng)典的電導(dǎo)率方程往往不能正確地描述實(shí)際情況,所以求解電磁場(chǎng)波動(dòng)方程時(shí)使用的電導(dǎo)率將通過動(dòng)力學(xué)公式推導(dǎo)出來.計(jì)算和實(shí)驗(yàn)中采用氬

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