全自動(dòng)X射線角分類機(jī)測控系統(tǒng)的研制與開發(fā).pdf

1、X射線角分類機(jī)是目前晶體切割和加工設(shè)備中最重要的定向?qū)Ｓ迷O(shè)備。X射線角分類機(jī)是以X射線為手段，依據(jù)布拉格方程，對晶體進(jìn)行分析的光機(jī)電一體化精密儀器。全自動(dòng)X射線角分類機(jī)是在原有的半自動(dòng)X射線角分類機(jī)的基礎(chǔ)上，針對圓片晶體的定向分類問題，采用數(shù)據(jù)采集器、PLC控制系統(tǒng)和上位機(jī)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)微弱信號(hào)的檢測、數(shù)據(jù)處理和各部分執(zhí)行機(jī)構(gòu)的全自動(dòng)化操作，從而解決了圓片晶體的定向問題，消除了人為因素帶來的測量誤差，提高了測量精度，同時(shí)也使工作效率得

2、到了較大的提高。 首先，本文詳細(xì)分析了全自動(dòng)X射線角分類機(jī)的基本功能要求和各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)，在此基礎(chǔ)上，主要設(shè)計(jì)并開發(fā)了全自動(dòng)X射線角分類機(jī)系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)采集和PLC控制子系統(tǒng)、基于PSD技術(shù)的激光測微子系統(tǒng)和真空、氣動(dòng)控制子系統(tǒng)等軟硬件系統(tǒng)，并針對圓片石英晶體的測量提出了ψ旋轉(zhuǎn)法并建立了相應(yīng)的數(shù)學(xué)模型。此外以DOS系統(tǒng)為平臺(tái)設(shè)計(jì)并開發(fā)了軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)的采集、分析和管理。最后，對本文所取得的成果作出了總結(jié)，同時(shí)分析了全自動(dòng)X射線