PLD制備ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和發(fā)光特性研究.pdf

1、曲阜師范大學碩士學位論文PLD制備ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和發(fā)光特性研究姓名：王璟璟申請學位級別：碩士專業(yè)：物理電子學指導教師：李清山20060401A b s t m c tA b s t r a c tZ n O i s as e m i c o n d u c t o r m a t e r i a lw i t l lw i d e d i r e c tb a n dg a p o f 3 ．3 7 e Va n dal a r g e

2、 e x c i t o nb i n d i n ge n e r g yO f 6 0 m e V a tr o o m t e m p e r a t u r e ．T h e o r e t i c a l l y ，i tc a nr e a l i z es t i m u l a t e dU V e m i s s i o n 砒R T ，w h i c hm a k e s i t a p r o m i s i n

3、gm a t 砸a lf o ru s i n gi nu l t r a v i o l c t1 i g h t —e m i t t i n ga 1 1 dl a s e rd i o d e s ．I n 恤i sp a p e r ，as e r i e so f Z n O6 l m s w e r ep r 印a r e d b y u s i n g aK 打e x c i m e r l a s e r a td i

4、 舵r c n td 印o s i t c d c o n d i t i o n ．T l l r o u 曲t h er e s e a r c h o f 也e 咖l c t 眥l a n do p t i c a l p r o p e r t i e s o fZ 1 1 0 f i l m s ，o 曲m i z e d c o n d i t i o n s f o r g r o 、v i n gz n O f i l

5、m sw e r eo b t a i n e d ．n l er c s u l t s s u g g e s t e dt l l a th i g hq u a l i t ) ，z n Of i l m s 謝mM g h l y c —a ) ( i so d e n t a t i o nc o u l db ep r e p a r e db yP L D ．B y c h 眥g 證g d i 虢r e Ⅱtd e p

6、o s i t e d c o n d i t i o ns o m e p o i n t sh a v eb e e n o b t a i l l e d ．( 1 ) T h ez n O f i l m sw e r ep r e p a r e da td i ‰n ts u b s 仃a t et e m p e r a t u r e ．Ⅺ①r e s u l t s s u g g e s t e d t 1 1 a

7、t a 1 1 s a m p l e s k Ⅳe c - a x i s o r i e n t a t i o n ．A s t l l e s Ⅱb s n ．a(chǎn) c et e m p e r a c u r e c h a n g e s 廳o m4 0 0 ℃t o 7 0 0 ℃，t h eF W H M o f Z n O ( 0 0 2 ) d i 伍．a(chǎn) c t i o np e a k s b e c o m e

8、n a r r D w e LT h ec r 刪l i n 時o f t l 圯s 鋤1 p l e s i si m p r o v e d ．1 k 觸em o r p h 0 1 0 9 y o f 也es 鋤p l e 掣o w n a t4 0 0 ℃h a s d o u b l es 協(xié)l c t u r e 趾dt h es 鋤p l eg r o w n a tl l i g ht e m p e r a t u r

9、 eh 船r i n gs t n | c t l l r e ．t h es m n p l e 掣o w n a t5 0 0 ℃h a s t l l es 乜D n g e S tU V e n l i s s i o n ．A sm e s u b s 廿鋤et e m p e r a t u r ei n c r e a s i n g ，t l l e i n t e n s i t yo fU Ve m i s s i

10、o n d e c r e a s e s ． T h e a r t i c l e i n v e s t i g a c e s 也e e 腩c t o f s 曲s 訛t et e m p e r a t u r eo n m eU Ve m i s s i o n ．1 1 1 e U Vl u m i n e s c e n c e i n t e n s i t y s 廿o n g l yd e p e n d e do

11、 n t l l es t o i 出o m e 仃yi I l t h eZ n 0 f i l mr a t h e rm a n 也em i c m ·s 劬l c t l l 】r a lq l l a l i t yo f t l l ec r y s t a l ．( 2 ) T h ez n 0 f i l m sw e r e p r e p 盯e d a td i 舭r e n t o x y g e np

12、a n i a lp r e s s Ⅵe ．A s m eo x y g e np r e s s u r ef o r 也e t M n f i l md 印0 s m o ni n c r e a s e s 丘o ml OP a t o 1 0 0P a ，m eF W H Mo f ( 0 0 2 ) d i f 如c t i o np e a k s b e c o m e l a r g e r 疔o m 0 ．1 9 。

13、t o O ．4 3 ‘．T h ec f ) r s t a l l i 血t yo f t h es 鋤p l e sd e g r a d e s ，b u t 也ei n t e n s 時o f u V e m i s s i o ni m p r o v e s ．T h e s u r f a c em o r p h o l o g yo f t l l es 鋤p l eg r o w n a t 1 0 0 P a

14、k l s 1 e a v e ss t n l c m r ew i ml a y e r s y m m e t r y ．T h e U V l u m i r l c s c e n c e i n t c n s i 哆s 廿o n g l y d 印e n d e d o nt h es t o i c h i o m e 衄i n 齜z n O6 1 mr a n l e rt l l a l l t h el I l i