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文檔簡介
1、隨著現(xiàn)代制造工業(yè)的快速發(fā)展,人們對微小角度與位移的測量提出了越來越高的要求,光柵尺憑借其測量精度高、抗干擾能力強、可實現(xiàn)動態(tài)測量等優(yōu)點,已經(jīng)成為了精密測量的主流應用產(chǎn)品。
我國進入光柵尺研究領(lǐng)域的時間較晚,現(xiàn)階段只能生產(chǎn)精度不高的增量式光柵尺,而在絕對式光柵尺研究方面更是處于剛起步的階段。
精密光柵尺作為光、機、電一體化的產(chǎn)品,其測量精度容易受到光柵尺自身制造誤差、裝夾誤差及溫度等多種因素干擾,因此有必要對光柵尺進行
2、精度檢測及誤差補償,而對于光柵尺生產(chǎn)企業(yè)而言,其需要保證每一個光柵尺產(chǎn)品能夠達到設計的測量精度標準,因此對于大批量光柵尺的快速精度檢測與誤差補償系統(tǒng)研究具有重要的現(xiàn)實意義。
本文在充分吸收前人研究成果的基礎上,首先深入地分析了增量式與絕對式光柵尺的工作原理、通信方式及造成其測量誤差的主要因素,并以分析結(jié)果為依據(jù)提出了大批量光柵尺精度檢測與補償?shù)目傮w方案。
其次,搭建了光柵尺精度檢測平臺,并且詳細的敘述了該平臺的設計要
3、點與難點,包括氣浮運動導軌的設計、高精度位置反饋儀器與檢測平臺基座材料的選擇。
再者,設計了光柵尺數(shù)據(jù)采集卡,解決了增量式光柵尺和絕對式光柵尺位置數(shù)據(jù)的高速同步采集、激光干涉儀的同步觸發(fā)、利用Biss協(xié)議對絕對式光柵尺進行快速的讀寫操作、數(shù)據(jù)采集卡與上位機的高速通訊這四大問題。
最后,利用自主設計的精度檢測平臺和光柵尺數(shù)據(jù)采集卡對某企業(yè)所生產(chǎn)的增量式光柵尺和絕對式光柵尺均進行了精度檢測實驗,實驗證明了本文所設計的光柵
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