2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩65頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、本文針對物聯網智能工業(yè)、智能農業(yè)等相關領域不同環(huán)境條件下多參數測試需求及傳感器低成本、微型化、低功耗和多功能的發(fā)展趨勢,提出一種以電容-電感諧振式(LC)互感耦合無線測試技術為理論基礎,基于LTCC工藝的無源功能集成化(壓力、溫度、濕度)傳感器,通過合理的結構設計和工藝方法,實現了傳感器多參數單片集成測量,從技術角度為多參數實時監(jiān)測提供一種解決方案。
  首先介紹了無源傳感器無線測試的原理,然后分別介紹了三參數傳感器的壓力敏感機理

2、、溫度敏感機理和濕度敏感機理。綜合考慮了電感值和電容值對傳感器性能的影響,根據相關設計經驗,考慮工藝的可實行性,在合理范圍內確定了電感和電容值。多參數傳感器整體結構較為復雜,通過合理布局電容電感位置,最大程度的提高了各傳感器的靈敏度。最后對基底材料、叉指電極材料及感濕介質進行了比較,選取最符合要求的材料用于傳感器的設計與制備。
  然后通過軟件仿真分別對單參數傳感器和集成多參數于一體的傳感器進行了電磁學仿真,通過兩者結果的對比,說

3、明了多參數傳感器設計中存在的難點,同時也驗證了多參數傳感器設計的可行性,確定了多參數傳感器加工尺寸。接著對傳感器進行熱、力學仿真,得到了傳感器所能承受的最大應力和最大敏感膜形變量,證明了傳感器整體能夠實現均勻受熱。在此基礎上,首先制備了HTCC陶瓷基單參數無源濕度傳感器,然后采用LTCC工藝實現了溫濕壓三參數傳感器單片集成制備。
  最后對制備的無源傳感器進行了相應地測試與性能分析。為了驗證濕度傳感器可行性,首先對無線無源單參數濕

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論