基于激光波數(shù)間斷掃描干涉測量系統(tǒng)的研制及曲面輪廓三維測量.pdf

1、在復合材料檢測和超高精度加工領域，曲面三維輪廓測量技術被越來越多的科研工作者所重視，占據(jù)的地位也越來越重要。在這種超高精度的測量技術領域通常使用的技術都是基于激光干涉檢測原理的測量技術。激光波數(shù)掃描干涉測量技術是檢測被測樣件的曲面三維輪廓的激光干測量的方法之一，也是目前檢測領域的重要發(fā)展方向。在激光波數(shù)掃描干涉測量時，主要是靠激光控制器調制激光二極管發(fā)出一束頻率穩(wěn)定的激光，通過調制激光，來達到波數(shù)掃描的目的。但是在調制激光器的時候，激光

2、二極管由于自身硬件的原因，極容易產生模跳的問題，而激光波數(shù)掃描干涉測量技術是檢測領域的一種超高精度測量技術，測量精度可以達到納米級別，所以這種模跳問題是致命的，嚴重影響測量的精度。與此同時，CCD相機成像時，若使用普通的鏡頭，也有可能使拍攝的干涉圖像產生畸變，也對此實驗精度產生較大影響。所以針對于上述的問題，本文主要使用下述方法對問題進行解決：
　　（1）在常規(guī)的基于激光波數(shù)掃描干涉測量儀的基礎上，設計一套基于激光斷續(xù)波數(shù)掃描干涉