各種硅片不良的解決方案

1、斷線善后處理 斷線善后處理首先做好斷線記錄（斷線時間、機臺號、部位、切深）留好線頭一.查明斷線原因及斷線情況.二.急時上報，未經(jīng)同意，不得私自處理。三.處理流程：1. 在出線端斷線,寬度不超過 10 毫米的直接拉線切割.2.切深≦60mm 中部或進線端斷線，以 30mm/min 直接升起，迅速布線，8000 流量砂漿沖洗，沖片時在線網(wǎng)上鋪上無塵紙，沖開粘在一起的片子后，迅速把晶棒降到距線網(wǎng) 2mm 處，然后以 10mm/min 的進給認

2、真仔細的“認刀”。3.中部或進線端斷線，切深在 50mm---80mm 之間的，以 10mm/min 的速度升料到距進刀處 30--40 毫米,，停止。線速調(diào)到 2m/s，以 2%走線 1cm，以調(diào)平線網(wǎng)，停止。打開砂漿 8000 流量均勻沖片子。把晶棒兩側(cè)的線網(wǎng)小心的剪掉（剪時要用手捏著）,留出 3-4 厘米的線頭,另一端不剪.(進線端有線網(wǎng)的一定要保留該部分線網(wǎng),以便重新布線.剪兩側(cè)線網(wǎng)時一定要用手或其他夾緊物,夾緊預(yù)留的線網(wǎng)頭.)

3、布線網(wǎng),重新切割。4 進線端或中部斷線切深超過 80mm 的視情況能認刀的就認刀否則就反切或直接拉線正向切割。4.進線端斷線，第一次斷線，切深在 80mm.1 換掉放線輪，用一個空的收線輪來代替。以低于原 2N（左 19 和右 21）的張力，切割線方向改為:右，其他參數(shù)不變,手動 2m/s 的線速走 1m,不要開砂漿。2 把晶棒提升至 30---40mm 處，重新對接焊線，焊線時要二.方棒溫度低，膠在凝固時的高溫反應(yīng)熱，破壞了粘膠面的硅

4、層結(jié)構(gòu) 三.硅片預(yù)沖洗水溫低于 XX 度，脫膠水溫低于 XX 度，膠層未完全軟化時員工就用手把硅片用力作倒。 四.由于采用的是小槽距大線徑，不可避免會在出刀時造成硅片向阻力小的一方的傾斜，方棒兩頭的硅片受到的阻力最小，造成兩個棒 子四個頭部近 32 毫米長度內(nèi)的硅片出現(xiàn)崩邊。五.粘接劑太硬（不便說出硬度系數(shù)） ，在鋼線出硅棒粘膠面的瞬間，破壞了硅層。 預(yù)防措施 預(yù)防措施： 一.脫膠，經(jīng)過控制脫膠的規(guī)范操作，即使前道工序已經(jīng)對方棒表面產(chǎn)生

5、不良影響，經(jīng)過優(yōu)化粘膠方式和手法，也要把損失降低到最 低點。在目前的設(shè)備配置前提下，嚴格要求脫膠工“45~50 度溫水，浸泡 25 分鐘”聯(lián)系設(shè)備部，做硅片隔條，降低硅片倒伏時的傾度。 二.嚴格控制方棒超聲池的水溫在 40 度，超聲到粘膠的時間間隔控制在 2 小時內(nèi)，粘膠房的溫度控制在 25 度，濕度不超過 50%。 三.對開方機進行一次進給和轉(zhuǎn)速校正，開方后的方棒經(jīng)打磨后再滾圓。并請設(shè)備部做出設(shè)備三級維護計劃書。做定期維護保養(yǎng) 四.“