熱式流量計的誤差分析及精度提升方法研究.pdf

1、熱式質量流量計(Thermal Mass Flowmeter)是利用傳熱原理實現流量測量的儀表，其成本低，原理、結構簡單，無可動部件，壓力損失小，測量范圍大，是當前質量流量計的研究熱點，廣泛用于汽車電子、半導體工業(yè)、能源與環(huán)保等領域，但目前對熱式流量計的誤差理論研究不足，國內市場的熱式質量流量計普遍測量精度不高，另外，對熱式流量計傳感器深入的理論研究也很少，而傳感器作為直接感知流量信號的元件，其熱學特性對整個流量計的精度也有著重大影響。

2、
　　針對熱式質量流量計測量精度不高的問題，本文主要研究工作如下:
　　1)研究了常用類型的熱式流量傳感器，通過深入分析傳感器的特性，提出一項應用于流量測量時的技術指標:測速響應時間，并設計實驗進行了分析研究;
　　2)從測量原理、數據處理、元器件性能等方面分析了熱式質量流量計的測量不確定度來源，對主要測量不確定度來源氣體溫度變化、插入深度偏差進行重點研究，給出了相應的測量不確定度傳播系數;
　　3)詳細分析研究