基于0.18umcmos集成壓力傳感器設(shè)計(jì)

1、黑龍江大學(xué)碩士學(xué)位論文基于0.18umCMOS集成壓力傳感器設(shè)計(jì)姓名：李柏利申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：邱成軍20110330黑龍江大學(xué)碩士學(xué)位論文A b s t r a c tT 1 1 i s p a p e rp r o p o s ean e wM O S F E Ti n t e g r a t e d p r e s s u r e s 睨l s o rw h i c hm e r g eM E M

2、 S t e c h n o l o g ya n dI Ct e c h n o l o g y ．I nt h i sp a p e r , aM O S F E T p r e s s u r e s e n s o ri sd e s i g n e db a s e do nO ．18 u r nC M O S p r o c e s s ，t h r o u g hr e s e a r c h i n gt h es t

3、r e s sd i s t r i b u t i o no n t h ef i l m ，g e tt h eo u t p u tv o l t a g ep a t t e r n v i ap r e s s u r e c h a n g eo n t h es e n s o r ，a c h i e v eat h e o r e t i c a lr e s u a l to f t h es e n s o r o

4、 u t p u ts i g m l t h r o u g hf u l lr a n g e ：5 ．4 4 m V ．I nt h i sp a p e r ,d e s i g n e d a t w os t a g ec a s c o d ea m p l i f i e r 鷦k e yo p r a t i o n a la m p l i f i e r , w h i c hh a s h i g hg a i

5、n ：1 0 0 d B ，h i g hP A R Ra n dC M R R , u s i n g d i f f e r e n t i a l a m p l i f yp a t t e r n a s t h es i g n a le n l a r g ec i r c u i t , a c h i e v e t h e g o a lo f d i r e c t l yh a n d l et h eo u t

6、 p u ts i g n a lo f s e n s o r ．A d o p t i n gb a n d g a pt e c h n o l g yw h i c h i su s u a l l yu s e di na n a l o gI Cb i a s g r o u p ，d e s i g n e dt h es u p p l yc i r c u i tf o r t h e s e n s o r , a

7、c h i e v e dt h ed e s i g n t a r g e t o f t e m p e r a t u r ei n d e p e d e n c e ：W h e nt e m p e r a t u r ev a r yf r o m _ 5 0 。C t o 1 5 0 。C ，t h e t e m p e r a t u r ec o e f f i c i e n t i s 4 p p m ／*

8、C ，t h es e n s o rs u p p l yc u r r e n tv a r i a t i o n i s l e s st h e n0 ．0 18 u A ，t e m p e r a t u r ec o e f f i c i e n t i s8 ．4 p p m ／℃w h i c h i m p r o v i n gt h e p r e c i s i o no f t h es e n s o

9、ra n ds o l v i n gt e m p e r a t u r e d r i f tp r o b l e ma ta f u t u r es t e p ．I nt h i sp a p e r a l s og i v e t h e l a y o u t o f d i f f e r e n tb l o c k s ．K e y w o r d M E M S ；M O S F E T p r e s s