0.13微米銅互連工藝鼓包狀缺陷問題的解決_第1頁
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文檔簡介

1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文0 . 1 3 微米銅互連工藝鼓包狀缺陷問題的解決碩士研究生 張嘉學(xué)號 1102102063導(dǎo) 師: 朱亦鳴教授副導(dǎo)師 董天化申請學(xué)位 工程碩士學(xué)科 集成電路工程所 在 單 位: 微電子學(xué)院答 辯 日 期：20 1 3 年 5 月授予學(xué)位單位 上海交通大學(xué)上海交通大學(xué) 學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所 呈 交 的 學(xué) 位 論 文 《 0 . 1 3 微米銅互連工藝鼓 包狀缺陷問題的解決》 ，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下

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