射頻匹配器的原理與設計

1、1of17射頻匹配器的原理與設計應用物理系電子信息工程專業(yè)00級4班學生：劉京華指導教師：曾旺輝摘要眾所周知，功率在傳輸過程中終究是有損耗的。對于日益普及的芯片也不例外。在芯片的生產(chǎn)過程中，為使其射頻電源的功率傳輸最大化，我們設計一個匹配器，用來使負載阻抗與射頻電源的阻抗匹配，從而減少反射功率，傳輸功率達到最大。在這里我們所設計的就是射頻匹配器。[關(guān)鍵詞]：射頻匹配，傳輸功率，反射功率，調(diào)諧部分AbstractAsisknowntous

2、thereisinevitablepowerconsumptionduringthepowertransmission.Thesameistruewithchipswhichisincreasinglypopular.Intheprocessofmanufacturingchipswedesignamatchtomaximizethetransmittedpower.Thetheyisthatthematchwouldmatchthei

3、mpedancesofradiofrequencyloadtotheradiofrequencygenerat.Sothatminimumthereflectedpowermaximizethefwardpower.thentherateofthefwardtothereflectedvalueismaximized.Herewhatwearedoingistheradiofrequencymatch——RFMATCH.[Keywd]:

4、RFMATCH.Fwardpower.Reflectedpower.Tuningelements3of172RF匹配器的結(jié)構(gòu)原理RF匹配器是把來自高功率RF信號發(fā)器的1356MHz的能量耦合到—個負載上去，比如一個加工室。這個負載是一個可變的阻抗，其阻抗是隨著加工室中加工的運作而變化的。RF匹配器自動檢測這個負載的情況，通過調(diào)整它內(nèi)部的調(diào)諧元件的位置使被耦合到加工室里的功率最大。當然，這樣反射回RF信號發(fā)生器的功率也就最小。RF匹配器的

5、工作原理方框圖如圖21所示。圖21RF匹配器方框圖注意：調(diào)諧元件是兩個特殊的可調(diào)的電抗元件：一個是可調(diào)電感，一個是可調(diào)電容。在傳輸路徑中，RF功率分成兩部分：傳輸功率(Pf)和反射功率（Pr）。理想狀態(tài)是Pr／Pr的比值高。只要信號源和負載的阻抗匹配，就可以達到理想狀態(tài)。RF匹配器的目的就是通過適當?shù)卣{(diào)整調(diào)諧元件以改變阻抗，使負載與RF信號源產(chǎn)生匹配。匹配器是由檢波板(DECET)、探測板(PROBE)、控制板(CONTROL)和調(diào)諧元