高科技工業(yè)安全復習題

1、高科技工業(yè)安全復習題一縮寫名詞解釋（）1.HEPA：Highefficiencyparticulateairfilter空氣過濾器。2.ULPA：Ultralowperationairfilter超低滲透率空氣過濾器。3.ESD：electricstaticdisge靜電放電。4.ppm：partspermillion百萬份之一。5.ppb：partsperbillion十億份之一。6.mic：mobileioncontaminatio

2、n可動離子沾污。7.BOE：bufferedoxideetch緩沖氧化物刻蝕。8.Ballroomlayout：舞廳式布局。9.Baychaselayout：生產區(qū)與技術區(qū)夾層。10.SMIF：Stardmechanicalinterface標準機械接口。11.FOUP：frontopeningunifiedpod前開口片盒。12.CMP：chemicalmechanicalpolishing化學機械平坦化。13.COD：Chemica

3、lOxygenDem化學需氧量（測量水中有機物化學氧化所需氧的數(shù)量，單位為ppm）。14.BOD：BiologicalOxygenDem生化需氧量（測量水中有機物污染的參數(shù)，表示含有機物之水中，微生繁殖所需之新陳代謝耗氧的數(shù)量，單位為ppm）。二判斷題（）15.人類頭發(fā)的相對尺寸大約是在IC里最小特征尺寸0.18?m的500倍。16.可以接受的顆粒尺寸的法則是它必須小于最小特征尺寸的一半。17.原生氧化物使用含HF酸的混合液的清洗步驟去

4、除。18.聯(lián)邦標準209E空中傳播的微粒潔凈度等級10級：大于0.5?m的顆粒小于1019.聯(lián)邦標準209E空中傳播的微粒潔凈度等級100級：大于0.5?m的顆粒小于100。20.人是顆粒的產生者，是凈化間沾污的最大來源。21.現(xiàn)代超凈化服是高技術膜紡織品或密織的聚酯織物。22.Ballroomlayout的層流工作臺的凈化級別是100級。23.Baychaselayout加工硅片的生產間格的凈化級別是1級。24.聯(lián)邦標準209D凈化間

5、溫度的推薦值是22.20C。25.聯(lián)邦標準209D凈化間相對濕度的最大值是45%，最小值是30%。26.微粒過濾器：可過濾之微粒為1.5?m及以上的深度過濾器。27.微過濾器：薄膜過濾器可將液體中之微粒移除，可過濾之微粒范圍為0.1至1.5?m。28.超過濾器：加壓之薄膜式過濾器可阻絕之微粒范圍為0.005至0.1?m。29.逆滲透：又稱為超級過濾器，主要是以加壓方式將溶液通過半滲透薄膜，可阻絕微粒與金屬離子，所隔絕微粒之大小可至0.0

6、05?m。30.導電度與電阻值：導電度指水溶液導電的能力，單位為Micromhocm(μScm)或MicroSiemenscm(μScm)。三簡答題（）31.污染的類型：微粒、微粒金屬雜質、有機污染物、原生氧化物和靜電放電。32.金屬雜質帶來的問題：離子交換樹脂法（IonExchangeResinsMethod）：工業(yè)界常用，是利用H、OH離子交換樹脂來除去鹽類離子，H可取代金屬離子如Ca2，Na，Mg2…而OH離子可取代陰離子如SO4

7、，Cl，HCO…等。50.逆滲透膜法：反滲透膜法(ReverseOsmosisMembraneMethodRO)：是于高壓力操作下，利用膜來除去鹽類及有機物，民間家庭或小工廠常用。51.電解式連續(xù)去離子法：電解式連續(xù)去離子法(ContinuousElectrodeionization，CEDI或CDI或EDI)：高科技廠或制藥廠、實驗室常用。系依靠離子交換膜，樹脂和電極連續(xù)生產高純水之技術原理。為利用電極產生直流電去除水中一切離子和可被

8、離子化之雜質，同時對樹脂進行連續(xù)再生，即是添加了樹脂后的電滲析。52.高科技廠廢水主要來源：生產的制程廢水、純水系統(tǒng)再生廢水及RO排放水、廢氣洗滌塔中和液廢水和一般生活排放廢水。53.半導體廢氣種類：無機廢氣：酸、堿等化學品之蒸發(fā)氣；有機廢氣：有機溶劑之蒸發(fā)氣；特殊氣體廢氣：化學氣相沈積，蝕刻等之所排廢氣；熱廢氣：一般氧化爐及烤爐所排出之廢氣。54.硅甲烷（SiH4）廢氣處理方式：單獨配管至燃燒室燃燒后再經洗滌塔處理排出室外，反應方程式

9、：SiH42O2→SiO22H2O；用氫氧化鉀溶液加以化學反應，反應方程式：SiH42KOHH2O→K2SiO34H2。55.活性碳吸附法（有機溶劑廢氣處理方式）：以活性碳直接吸附經過之廢氣中之有機溶劑，為最簡易和省成本之方式，唯活性碳易粉化而引起壓損，吸水氣而降低性能，受顆粒雜質堵塞，易自燃等之缺失。56.冷凝法（有機溶劑廢氣處理方式）：是將氣體之溫度下降至其中某溶劑化學成份之蒸氣壓相對溫度以下，使該化學成份凝結而達分離之目的，一般使

10、用在高濃度廢氣(＞1％)及高沸點低蒸氣壓之有機溶劑之廢氣。57.直接燃燒法（有機溶劑廢氣處理方式）：將氣體中之化學成份直接利用高溫燃燒而分解為CO2及水份，操作簡單可回收熱，去除高，唯操作費用高，有回火及爆炸之危險。58.化學吸收法（有機溶劑廢氣處理方式）：藉由氣體與固體間之接觸，將氣體中某些成份因產生化學吸附及物理吸收而移除。59.觸媒燃燒法（有機溶劑廢氣處理方式）：在燃燒反應時加入觸媒輔助燃燒，在操作安全性上較直接燃燒安全，費用低，