微納測試

1、第一章1、微納米材料的三個特性是什么答：微尺寸效應、表面與界面效應、量子尺寸效應。2、微納測試的研究內(nèi)容是什么，并解釋其內(nèi)涵答：圓片級測試、管芯級測試和器件級測試。MEMS圓片級測試主要解決MEMS在工藝線上制造過程中微結(jié)構(gòu)與設計的符合性、微結(jié)構(gòu)之間以及不同批次圓片間的一致性與重復性問題；管芯級測試主要解決封裝前微器件的成品率的測試問題；器件級測試有兩個方面的目的：其一是檢測封裝的質(zhì)量，進行微器件的綜合性能測試；另一方面則是考核微器件的

2、可靠性，給出可靠性指標。3、微納測試方法有哪兩大類答：接觸式測試與非接觸式測試。4、微納測試儀器有哪幾類答：光學、電子學、探針等。5、微納測試的特點答：被測量的尺度小，一般在微納米量級；以非接觸測量為主要手段。第二章1、試述光學法在微納測量技術中的意義（同自動調(diào)焦法優(yōu)點）答：由于是非接觸測量，因而對被測表面不造成破壞，可測量十分敏感或柔軟的表面；測量速度高，能掃描整個被測表面的三維形貌，且能測量十分復雜的表面結(jié)構(gòu)；用這種方法制成的測量儀

3、器可用在制造加工過程中實現(xiàn)自動化測量。2、可見光的波長范圍答：400~760nm3、凸透鏡成像的5種形式答：形式1：當物距大于2倍焦距時，則像距在1倍焦距和2倍焦距之間，成倒立、縮小的實像。此時像距小于物距，像比物小，物像異側(cè)。應用：照相機、攝像機。形式2：當物距等于2倍焦距時，則像距也在2倍焦距，成倒立、等大的實像。此時物距等于像距，像與物大小相等，物像異側(cè)。形式3：當物距小于2倍焦距、大于1倍焦距時，則像距大于2倍焦距，成倒立、放大

4、的實像。此時像距大于物距，像比物大，物像異側(cè)。應用：投影儀、幻燈機、電影放映機。形式4：當物距等于1倍焦距時，則不成像，成平行光射出。形式5：當物距小于1倍焦距時，則成正立、放大的虛像。此時像距大于物距，像比物大，物像同側(cè)。應用：放大鏡。4、幾何光學的成像原理、波動光學的成像原理答：幾何光學成像原理：在均勻介質(zhì)中，光線直線傳播；光的反射定律；光的折射定律；光程可逆性原理。波動光學成像原理：光的干涉；光的衍射；光的偏振。5、顯微鏡與望遠鏡

5、的異同點答：顯微鏡與望遠鏡的相同點：（1）都是先成實像，后成虛像（2）他們的目答：1）光學三角法是用一束激光經(jīng)光學系統(tǒng)調(diào)節(jié)后照射到被測物體表面，形成一小光斑，經(jīng)被測物體表面反射后的光線通過成像物鏡匯聚成像在光電探測器的光接收面上。被測點的位移信息由該光點在探測器的光接收面上所形成的像點位置決定。當被測物體移動時，光斑相對于物鏡的位置發(fā)生改變，相應的其像點在光探測器接收面上的位置也將發(fā)生改變，根據(jù)其像點位置的變化和測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù)可求出

6、被測點的位移信息。由于入射光線和反射光線構(gòu)成一個三角形，所以該方法被稱為光學三角法。2）測量被測表面的形貌3）斜光學三角法和直光學三角法兩種13、三角法測量中有哪幾種檢測方案答：一般有三種，位置敏感探測器（PSD）、CCD線陣探測器、差動式光電二極管。14、影響三角法測量精度的因素有哪些答：（1）表面粗糙度的影響（2）被測表面微結(jié)構(gòu)的影響（3）散斑的影響第三章1、分辨力、分辨率、放大倍數(shù)的基本概念答：分辨力：顯示裝置能有效辨別的最小的示

7、差值分辨率：顯示分辨率（屏幕分辨率）是屏幕圖像的精密度，是指顯示器所能顯示的像素有多少。放大倍數(shù)：像與物體的尺寸的比值2、人眼、光學顯微鏡、透射電鏡、電子掃描顯微鏡、探針顯微鏡的分辨力答：人眼晴分辯率：0.1mm以上；光學顯微鏡極限分辯本領是光波的半波長：可見光最短0.4um(半波長：0.2um）；透射電鏡:點分辨(0.30.5nm)晶格分辨(0.10.2nm)；電子掃描顯微鏡:(610nm)；探針顯微鏡:原子級(0.1nm)；3、如何

8、提高望遠鏡與顯微鏡的分辨率答：對望遠鏡，λ不變，盡量增大透鏡孔徑D，以提高分辨率。對顯微鏡，主要通過減小波長來提高分辨率。4、顯微鏡的光學參數(shù)：放大倍數(shù)，工作距離，景深，視場答：放大倍數(shù)：指物體經(jīng)物鏡、目鏡兩次成像后眼睛所能看到像的大小對原物體大小的比值。是物鏡的橫向放大率m與目鏡的角放大率α的乘積。顯微鏡配有放大倍數(shù)不同的物鏡和目鏡，各廠家均已在物鏡和目鏡上標出各自的放大倍數(shù)，兩者相乘即可。工作距離：就是從物鏡的前表面中心到被觀察標本

9、之間的距離。景深：當顯微鏡調(diào)焦于某一物平面時，如果位于其前或后的物平面仍能被觀察者看清楚，則該二平面之間的距離叫做景深。視場：從顯微鏡中能看到的圓形范圍叫視場(又叫視野)。5、光學顯微鏡有哪幾部分組成答：光學顯微鏡一般由載物臺、聚光照明系統(tǒng)、物鏡，目鏡和調(diào)焦機構(gòu)組成。6、激光掃描顯微鏡有哪兩種工作模式答：一種是自聚焦掃描方式，一種是共焦掃描方式。7、簡述共聚焦掃描顯微鏡的基本原理，并說明如何產(chǎn)生一副完整的圖像答：利用放置在光源后的照明針