四探針測試儀作業(yè)指導(dǎo)書

1、SDY4型四探針測試儀作業(yè)指導(dǎo)書共8頁第1頁只有加蓋紅色受控章的，或頒布于公司局域網(wǎng)指定目錄的文件，才是有效的。請使用有效版本。SDY4型四探針測試儀作業(yè)指導(dǎo)書1.0版本Rev.編寫人Preparedby編寫日期PreparedDate審核人Checkedby審核時間CheckedDate批準人Approvedby批準日期ApprovedDateSDY4型四探針測試儀作業(yè)指導(dǎo)書共8頁第3頁只有加蓋紅色受控章的，或頒布于公司局域網(wǎng)指定目錄

2、的文件，才是有效的。請使用有效版本。版本：1.01.1.目的：目的：規(guī)范四探針測試儀的操作與維修保養(yǎng)工作。2.2.范圍范圍：適用于車間內(nèi)四探針測試儀的操作與維修保養(yǎng)工作。3.3.職責：職責：3.1負責擴散后方塊電阻的測試。3.2規(guī)范操作，為測試數(shù)據(jù)規(guī)范化提供依據(jù)。3.3負責發(fā)現(xiàn)擴散后硅片質(zhì)量、工藝異常狀況時的反映。4名詞定義：名詞定義：4.1SDY4型四探針測試儀5.5.內(nèi)容內(nèi)容:5.1儀器介紹：SDY4型四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測

3、試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設(shè)計的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試專用儀器.儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件采用平面輕觸式開關(guān)控制及各種工作狀態(tài)LED指示.應(yīng)用微計算機技術(shù)，利用HQ－710E型測量數(shù)據(jù)處理器，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速，整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。本儀器可滿足半導(dǎo)體材料、器件的研究生產(chǎn)單位對材料(棒材、片材)電阻率及擴散層、離子注入層、異型外延層和導(dǎo)電薄膜方塊