真空知識

1、第1部分部分真空的初步知識真空的初步知識1.1基本概念1真空是指在給定空間內(nèi)低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間的氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。2測量單位：帕斯卡（Pa）1Pa就是1m2面積上作用1N的壓力。1大氣壓=1.03105Pa3真空度：表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度。通常用壓力表示單位（Pa）4壓升率：單位時間內(nèi)，真空度降低的速率。單位：Pah5常用泵閥的符號表示①旋片泵：單級多級②羅茨泵：③擴散泵：④擋板閥⑤

2、閥門（不指明類型）6真空泵的抽氣速率（簡稱抽速）（單位：LS）當泵裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩上指定位置測得的平衡壓力之比。7極限真空度：（單位：Pa）在規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向平穩(wěn)的最低壓強。8真空泵的型號及規(guī)格表示法旋片泵表示名稱：X，雙級旋片泵表示名稱：2X，羅茨泵表示名稱：ZJ，P表示它的排氣口位置是旁開。（廠家的一種表示，不帶有普遍性。）以下兩種泵后面有的數(shù)字是它的

3、抽速。2X70，ZJ600擴散泵的表示名稱：K，T表示凸腔泵，其后面的數(shù)字表示為它的進氣口的幾何尺寸。KT600，KT4001.2設備的介紹1.2.130kg、100kg、120kg三種設備的介紹以100kg為例重點介紹：整套設備由控制系統(tǒng)（電控系統(tǒng)）、爐殼、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、風冷換熱系統(tǒng)、進出料系統(tǒng)等九個系統(tǒng)組成，以下分別介紹：1控制系統(tǒng)：由電控柜、各種測量儀表、熱電偶、加熱電源組成。2爐殼是由爐體、

4、爐門、爐腿、鎖緊裝置等幾部分組成。爐體：是由筒體及各個法蘭接管組成，爐體是雙層水冷夾套結構，中間是冷卻循環(huán)水。爐體上帶有電極接口、真空系統(tǒng)接口、熱偶座接口、風冷換熱接口、熱偶接口、充放氣接口、水冷接口等組成。爐門上帶有觀察窗，可以觀察工作情況。旋片泵（圖3）1—泵體；2—轉子；3—旋片；4—端蓋；5—彈簧①工作原理：2X70旋片泵是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為大氣到6.7102（Pa）屬于低真空泵。旋片泵分單級和雙級兩種。所謂

5、雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來。以獲得較高的真空度。旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等零件組成。在旋片泵的泵腔內(nèi)偏心地安一個轉子，轉子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，見圖3。當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的

6、容積是逐漸增大的（壓力降低），正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的（壓力升高），正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的（壓力升高），正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱