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1、萬噸級(jí)粒狀多晶硅工程裝置研究?以化學(xué)工程科學(xué)和技術(shù)為基礎(chǔ),以流化床反應(yīng)器和反應(yīng)精餾反應(yīng)器為核心,開發(fā)粒狀多晶硅工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)。?建立萬噸級(jí)高純度(大于7N)多晶硅成套工程化技術(shù),技術(shù)經(jīng)濟(jì)目標(biāo)為:(1)1萬噸規(guī)模投資小于10億元人民幣;(2)每噸多晶硅的電耗小于1.5萬kWh;(3)每噸多晶硅生產(chǎn)成本小于10萬元RMB(相當(dāng)于15美元kg)。?硅烷生產(chǎn)技術(shù)?采用三氯氫硅方法生產(chǎn)硅烷,結(jié)合現(xiàn)有的西門子法,有利于西門子法的改?硅烷純凈化技術(shù):
2、通過精餾、吸收、吸附、萃取、過濾等將這些氯化物和氫化物徹底地分離,使得硅烷的純度可以達(dá)到6N以上,確保多晶硅的高純度要求。?硅烷熱分解技術(shù):通過優(yōu)化反應(yīng)條件,尤其優(yōu)化反應(yīng)器的溫度分布,可以增強(qiáng)非均相沉積,抑制均相和器壁沉積。10000TPY10000TPY粒狀多晶硅裝置工藝包粒狀多晶硅裝置工藝包?硅烷流化床熱裂解過程是一個(gè)系統(tǒng)工程,包括各子過程之間的集成,系統(tǒng)優(yōu)化和耦合。建立該大系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)仿真模型,優(yōu)化工藝條件,尤其是能量的優(yōu)化耦合利
3、用,同時(shí)還包括主要設(shè)備和輔助設(shè)備的設(shè)計(jì),主要工藝條件的控制策略,還包括三廢的處理,以及安全保護(hù)等措施。?可進(jìn)一步由工程設(shè)計(jì)院編制可行性研究報(bào)告和初步設(shè)計(jì)報(bào)告,再實(shí)施工程設(shè)計(jì)和工程建設(shè)。?硅烷分解法:反應(yīng)放熱,投資小,能耗低,純度高,反應(yīng)器可采用化工過程常見的,特別適合大規(guī)模生產(chǎn)的流化床反應(yīng)器,單臺(tái)規(guī)模萬噸以上,最有可能大幅度降低生產(chǎn)成本,是多晶硅技術(shù)發(fā)展的必然方向。流化床還原技術(shù)與鐘罩式比較項(xiàng)目鐘罩式流化床還原產(chǎn)品純度9N~11N7N~
4、9N還原電耗,KwhKg50~10015~25生產(chǎn)效率間歇批次反應(yīng)連續(xù)原生產(chǎn)品形態(tài)棒狀,后續(xù)加工復(fù)雜粒狀,適合單晶原料綜合電耗占比,%40~60~20改進(jìn)方向降低能耗,提高產(chǎn)量防止?fàn)t壁沉積、硅粒污染流化床還原技術(shù)在國(guó)際多晶硅生產(chǎn)公司中的應(yīng)用公司采用技術(shù)產(chǎn)能產(chǎn)品級(jí)別美國(guó)MEMCFBR流化床15000太陽能美國(guó)REC硅烷流化床6500太陽能美國(guó)HemLock改良西門子FBR流化床3000太陽能德國(guó)Wacker改良西門子FBR流化床7000太
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