6.7nm輸出波長gd靶激光等離子體極紫外光源的研究

1、分類號：O437.5密級：可公開UDC：編號：6.7nm輸出波長Gd靶激光等離子體極紫外光源的研究ResearchonLaserproducedGdTargetPlasmaSourceat6.7nmfLithography學(xué)位授予單位及代碼：長春理工大學(xué)（10186）學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：光學(xué)（070207）研究方向：超快、超強激光與物質(zhì)相互作用申請學(xué)位級別：博士指導(dǎo)教師：林景全教授研究生：竇銀萍論文起止時間：2010.92015.9長春

2、理工大學(xué)博士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明長春理工大學(xué)博士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的博士學(xué)位論文《6.7nm輸出波長Gd靶激光等離子體極紫外光源的研究》是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨立進(jìn)行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的作品成果。對本文的研究做出重要貢獻(xiàn)的個人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。作者簽名：年月日長春理工大學(xué)學(xué)位論文版

3、權(quán)使用授權(quán)書長春理工大學(xué)學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者及指導(dǎo)教師完全了解“長春理工大學(xué)碩士、博士學(xué)位論文版權(quán)使用規(guī)定”，即：研究生在校攻讀學(xué)位期間論文工作的知識產(chǎn)權(quán)單位屬長春理工大學(xué)。本人保證畢業(yè)離校后，發(fā)表論文或使用論文工作成果時署名單位仍然為長春理工大學(xué)。同意長春理工大學(xué)保存并使用學(xué)位論文；同意長春理工大學(xué)向國家圖書館、中國學(xué)術(shù)期刊（光盤版）電子雜志社、中國科學(xué)信息研究所送交學(xué)位論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。（涉