大功率射頻激光電源的仿真設(shè)計.pdf

1、本文針對大功率射頻CO2激光器，分析了射頻電源電路的原理和結(jié)構(gòu)，設(shè)計了射頻電源的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)和假負載系統(tǒng)，采用射頻仿真軟件對射頻電路進行了仿真分析，并通過仿真結(jié)果對元件參數(shù)進行了驗證和修訂。
　　 論文的主要內(nèi)容包括：
　　 (1)根據(jù)射頻板條CO2激光器的技術(shù)要求，確定了以RS3041CJ電子管為主要器件的射頻電源技術(shù)參數(shù)，電源輸出功率為30 kW，射頻振蕩信號頻率為81 MHz。選擇了射頻電路中合適的無源器件，重點分

2、析了射頻電源的屏極諧振輸出回路和屏柵反饋電路。
　　 (2)應(yīng)用射頻仿真軟件ADS對射頻電源電路進行了仿真分析，得到射頻電源屏極諧振輸出回路電壓峰值約為8 kV，電流峰值約為7.4 A。屏柵反饋電路電壓峰值約為420 V，電流峰值約為445 mA。通過仿真結(jié)果反饋，對理論計算進行了修訂。
　　 (3)分析了常見的L型、π型和T型阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，設(shè)計了射頻電源的π型匹配網(wǎng)絡(luò)，并用Smith圓圖法計算阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)中的元件參數(shù)值