水輔助紫外激光精密切割技術(shù)研究.pdf

1、紫外激光精密切割技術(shù)已經(jīng)在微電子、激光加工、精密材料加工等領(lǐng)域取得了廣泛的應(yīng)用。水輔助紫外激光精密切割技術(shù)是一種新型的復(fù)合加工技術(shù)。通過將水參與到紫外激光的精密切割加工中，可以有效地改善切割質(zhì)量。本文從水輔助激光技術(shù)的幾個主要方面入手，進(jìn)行了針對性的實驗研究： 針對傳統(tǒng)的紫外激光切割銅材料時產(chǎn)生的熱影響區(qū)比較大、熔渣比較多的問題，提出了一種全新的水膜層輔助紫外激光切割方法，并使用此方法制備出實物樣品，獲得的切割縫寬為45μm，熱

2、影響區(qū)小于50μm，基本上沒有熔渣。實踐證明，與傳統(tǒng)加工方法相比，水膜層輔助紫外激光切割銅箔片，具有加工精度高、熱影響區(qū)小、加工效率高等優(yōu)點，適合于各種高精度微細(xì)薄片器件的研制。 開展了紫外激光水導(dǎo)切割研究，搭建了紫外激光旁軸水導(dǎo)系統(tǒng)和紫外激光同軸水導(dǎo)系統(tǒng)的實驗裝置，自行設(shè)計了應(yīng)用于紫外激光同軸水導(dǎo)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件——耦合噴嘴，成功地使用紫外激光同軸水導(dǎo)系統(tǒng)在金屬材料上實現(xiàn)切割。結(jié)果證明：與傳統(tǒng)的干式激光相比，水導(dǎo)激光具有減小熱影

3、響區(qū)和降低微粒污染等優(yōu)點。 與解放軍總醫(yī)院304臨床部全軍燒傷研究所合作，開展了使用紫外激光切割豬脫細(xì)胞真皮基質(zhì)制備(PADM)醫(yī)用真皮替代物的研究。應(yīng)用激光切割技術(shù)對PADM進(jìn)行加工，制備出一種新型激光微孔PADM。研究結(jié)果表明：采用紫外激光制備微孔PADM的方法，有助于減小熱損傷、提高加工精度，可以獲得網(wǎng)孔孔徑大小可調(diào)、排列整齊致密、真皮基質(zhì)分布均勻的切割質(zhì)量，較傳統(tǒng)的方法具有不可比擬的優(yōu)越性。此種紫外激光制備微孔PADM的