超精密機床動力學(xué)建模及分析.pdf

1、隨著市場需求的變化及發(fā)展，微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件已成為數(shù)碼相機、傳真機、掃描儀等光電產(chǎn)品的關(guān)鍵零部件?；诳焖偎欧都?fasttoolservo,FTS)的單點金剛石車削因不需要任何后續(xù)加工處理就可加工出具有納米級表面粗糙度的微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件而備受矚目，而車削過程中刀具和工件之間的相對振動被認(rèn)為是影響加工元件表面質(zhì)量的主要因素。本文以哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密工程研究所自行研制的臺式納微米車床為研究對象，建立機床的動力學(xué)模型，分析超精密加工過程中動態(tài)切

2、削力對刀具和工件之間相對位移的影響及機床對地基振動的響應(yīng)。
　　首先分析了機床動力學(xué)研究的主要內(nèi)容方法，通過對比選用集中參數(shù)法建立車床的動力學(xué)模型，對臺式超精密車床關(guān)鍵部件進(jìn)行了介紹，并根據(jù)車床結(jié)構(gòu)特點并將其劃分為5個部件。
　　第二，機床各部分之間結(jié)合部的剛度和阻尼是建立機床動力學(xué)模型的關(guān)鍵兩個參數(shù)。通過理論計算求得靜壓氣浮導(dǎo)軌剛度，并通過實驗和理論計算結(jié)合的方法得出了靜壓氣浮導(dǎo)軌和FTS的阻尼。
　　第三，機械系統(tǒng)