干涉顯微鏡測(cè)量球面小曲率半徑方法研究.pdf_第1頁(yè)
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1、球面的曲率半徑是決定透鏡光學(xué)性能的主要參數(shù)之一，在透鏡制造過(guò)程中保證曲率半徑的數(shù)值大小是保證質(zhì)量的關(guān)鍵。在廣泛分析了各種球面曲率半徑測(cè)量方法的基礎(chǔ)上，研究了阻尼最小二乘法求解非線性超越方程的原理，建立了由阻尼最小二乘法計(jì)算球面曲率半徑的數(shù)學(xué)物理模型，詳細(xì)分析了初值選取、阻尼因子選取等問(wèn)題。在實(shí)驗(yàn)中用林尼克干涉顯微鏡、CCD及計(jì)算機(jī)采集干涉圖，將干涉圖及標(biāo)定代入程序得出曲率半徑，取得了較好的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 PZT移相時(shí)的線性好壞對(duì)干涉

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