超聲鍵合過(guò)程動(dòng)態(tài)壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、通過(guò)分析熱超聲鍵合系統(tǒng)的工作原理和工作環(huán)境,根據(jù)熱超聲鍵合動(dòng)態(tài)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的要求,選擇了合適的測(cè)力傳感器和高速數(shù)據(jù)采集板卡,研制了鍵合動(dòng)態(tài)壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。根據(jù)實(shí)時(shí)測(cè)量的熱超聲引線鍵合動(dòng)態(tài)壓力信號(hào),獲得了對(duì)鍵合動(dòng)態(tài)壓力各個(gè)階段的變化趨勢(shì)、規(guī)律及其原因的認(rèn)識(shí)。本文的工作主要包括: (1)開(kāi)發(fā)了熱超聲引線鍵合系統(tǒng)、熱超聲倒裝鍵合系統(tǒng)等超聲鍵合系統(tǒng)通用鍵合動(dòng)態(tài)壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。根據(jù)鍵合過(guò)程劈刀動(dòng)態(tài)壓力的大小和頻率,結(jié)合超聲鍵合機(jī)理的研究需要,

2、選擇高性能的壓電式測(cè)力傳感器開(kāi)發(fā)單傳感器鍵合動(dòng)態(tài)壓力監(jiān)測(cè)工作臺(tái),并基于LabVIEW平臺(tái),開(kāi)發(fā)了相應(yīng)的數(shù)據(jù)采集與處理系統(tǒng)軟件,實(shí)現(xiàn)了超聲鍵合動(dòng)態(tài)壓力信號(hào)的實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)、顯示、處理及保存。采用低成本壓阻應(yīng)變式測(cè)力傳感器開(kāi)發(fā)了三傳感器動(dòng)態(tài)壓力監(jiān)測(cè)工作臺(tái),并自行研制了配套的信號(hào)調(diào)理模塊,基于VC++6.0和Matlab平臺(tái)開(kāi)發(fā)了數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)軟件。獲得了鍵合過(guò)程動(dòng)態(tài)壓力的輪廓曲線,為鍵合過(guò)程動(dòng)態(tài)壓力控制提供了基礎(chǔ)。 (2)開(kāi)發(fā)了基

3、于單片機(jī)中斷工作模式的同步觸發(fā)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了超聲鍵合系統(tǒng)、多普勒激光測(cè)振系統(tǒng)、超聲換能系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)電壓和電流數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、劈刀動(dòng)態(tài)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)之間的同步。從而實(shí)現(xiàn)了鍵合過(guò)程的實(shí)時(shí)、多角度觀測(cè),為超聲鍵合系統(tǒng)機(jī)理研究、參數(shù)優(yōu)化及下一代超聲鍵合設(shè)備研制提供了全面的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。 (3)采集了熱超聲引線鍵合過(guò)程的動(dòng)態(tài)壓力數(shù)據(jù)。計(jì)算出了熱超聲引線鍵合系統(tǒng)壓力旋鈕格數(shù)對(duì)應(yīng)的實(shí)際壓力。并對(duì)熱超聲引線鍵合系統(tǒng)壓力旋鈕格數(shù)和實(shí)際壓力的關(guān)系進(jìn)行建模、分

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