釔鋇銅氧感光凝膠薄膜的制備及性能研究.pdf

1、YBa2Cu3O7-x（YBCO）高溫超導(dǎo)薄膜是重要的超導(dǎo)材料,其中微細(xì)加工技術(shù)是YBCO薄膜應(yīng)用于器件的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。YBCO薄膜的制備方法很多,其中溶膠-凝膠（Sol-Gel）方法可以和集成電路（IC）光刻工藝相互兼容,可以大面積涂敷,能精確地控制組分,無需復(fù)雜的真空設(shè)備,成本低廉,所以所以對于制備集成超導(dǎo)薄膜器件具有重要意義。本文旨在以無機(jī)鹽為出發(fā)原料,采用Sol-Gel法制備YBCO超導(dǎo)薄膜,并采用溶膠凝膠與化學(xué)修飾法相結(jié)合的新

2、方法制備YBCO薄膜的微細(xì)圖形。采用紫外-可見光光度儀、紅外光譜分析儀、X射線衍射儀、XPS、SEM探討了光敏性溶膠的感光機(jī)理,并對薄膜的成分,組織,結(jié)構(gòu)等進(jìn)行了分析。通過實驗,得出如下結(jié)論:（1）以醋酸銅為起始原料,苯酰丙酮為螯合劑,添加比例為Cu2+:BzAcH = 1:1,制得了具有光敏特性的含銅螯合物溶膠,用提拉法在硅基板上制得薄膜并進(jìn)行微細(xì)圖形加工,500℃熱處理后得到和掩膜負(fù)像一致的CuO微細(xì)圖形。（2）以醋酸釔為起始原料,

3、苯酰丙酮為螯合劑,添加比例為Y3+:BzAcH = 1:1,制得了具有光敏特性的含釔螯合物溶膠,用提拉法在硅基板上制得薄膜并進(jìn)行微細(xì)圖形加工,600℃熱處理后得到和掩膜負(fù)像一致的Y2O3微細(xì)圖形。（3）以醋酸銅,醋酸釔,醋酸鋇,三氟乙酸為起始原料（Ba-TFA法）,苯酰丙酮為螯合劑,添加比例為Y3+:Ba2+:Cu2+:BzAcH = 1:2:4:5,制得了具有光敏特性的YBCO溶膠,用提拉法在硅或LAO基板上制得薄膜并進(jìn)行微細(xì)圖形加工