硅片倒角機(jī)磨削系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、硅片倒角是指把切割后硅片的銳利邊緣通過磨削修整成圓弧形，其目的是消除邊緣切割應(yīng)力，防止邊緣破裂及顆粒脫落。本文對硅片倒角機(jī)磨削系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行研究。 本文通過對主軸系統(tǒng)的軸承組配方式、預(yù)緊方式、離心力和陀螺力矩等主軸軸承應(yīng)用理論的研究，確定了主軸軸承及支撐結(jié)構(gòu)。分析滾珠絲杠、滾動直線導(dǎo)軌的特點和工作臺機(jī)械傳動機(jī)構(gòu)系統(tǒng)特性，得出了提高系統(tǒng)定位精度和提高系統(tǒng)跟隨指令的方法，確定了工作臺滾動直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠的支撐形式。研究精密磨削

2、的特點，分析了影響倒角質(zhì)量的主要因素，對磨削力和磨削熱造成的局部表面溫度進(jìn)行了理論計算，確定了硅片倒角的磨削深度、磨削速度和冷卻液流量等系統(tǒng)工藝參數(shù)。 本文針對單晶硅片的邊緣磨削特點和要求，通過主軸軸承應(yīng)用理論和工作臺應(yīng)用技術(shù)研究及磨削力和磨削溫度的分析設(shè)計了磨削系統(tǒng)機(jī)械結(jié)構(gòu)。對主軸剛性和滾珠絲杠軸向剛性誤差進(jìn)行了理論計算；對磨削主軸模態(tài)及共振頻率使用ANSYS軟件進(jìn)行分析；對系統(tǒng)設(shè)計進(jìn)行試驗驗證和數(shù)據(jù)分析。通過研究解決了硅片邊