基于視覺(jué)測(cè)量的石英擺片幾何尺寸測(cè)量方法的研究.pdf

1、石英擺片是石英撓性加速度計(jì)的敏感核心元件，由于其形狀復(fù)雜、幾何尺寸精度和表面質(zhì)量要求較高，其加工質(zhì)量直接影響使用性能，而石英擺片的幾何參數(shù)又對(duì)石英撓性加速度計(jì)的工作性能有直接的影響，所以能夠準(zhǔn)確測(cè)量石英擺片的幾何參數(shù)，對(duì)于提高石英加速度計(jì)的工作性能具有很重要的意義。目前，視覺(jué)測(cè)量技術(shù)在幾何量測(cè)量中也得到廣泛的應(yīng)用，而國(guó)內(nèi)對(duì)石英擺片幾何參數(shù)的測(cè)量大多還是接觸式測(cè)量方法，不僅精度難以滿足要求，而且容易造成擺片的損壞。針對(duì)這一情況，本文對(duì)石英

2、擺片進(jìn)行非接觸測(cè)量的研究，提出了基于視覺(jué)測(cè)量的幾何參數(shù)測(cè)量方法。論文首先概述了國(guó)內(nèi)外石英擺片參數(shù)測(cè)量方面的發(fā)展現(xiàn)狀，闡述了計(jì)算機(jī)視覺(jué)檢測(cè)技術(shù)在幾何量測(cè)量上的發(fā)展?fàn)顩r以及應(yīng)用，為系統(tǒng)的設(shè)計(jì)做好了準(zhǔn)備。本文設(shè)計(jì)了基于視覺(jué)測(cè)量的CMOS圖像采集系統(tǒng)的石英擺片幾何尺寸測(cè)量的硬件系統(tǒng)，運(yùn)用圖像處理技術(shù)對(duì)圖像采集系統(tǒng)采集的圖像進(jìn)行圖像分析，計(jì)算得出需要的幾何尺寸。本課題研究的重點(diǎn)是石英擺片幾何尺寸測(cè)量的算法設(shè)計(jì)，綜合考慮各種傳統(tǒng)邊緣檢測(cè)算法，對(duì)空間