基于MEMS器件的可變光衰減器的研制.pdf

1、可變光衰減器作為光纖通訊中的元器件，其作用非常重要。它主要是用來減低或控制光信號，以達(dá)到信號通道平衡的作用。 基于微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectronicMechanicalSystem，MEMS)技術(shù)的可變光衰減器，具有連續(xù)可調(diào)，電壓控制，體積小，易于集成的優(yōu)勢。 本文首先對MEMS芯片進(jìn)行了選型，提出了各項(xiàng)參數(shù)要求。而后重點(diǎn)研究設(shè)計(jì)了雙光纖準(zhǔn)直器的結(jié)構(gòu)與參數(shù)，來提高器件的整體性能。其中包括利用C-Lens透鏡的楔角

2、面對色散的降低，使得器件在工作波長范圍內(nèi)具有極低的波長相關(guān)損耗值。利用光纖頭的結(jié)構(gòu)變化，降低了光纖的雙折射效應(yīng)，使器件具有極低的偏振相關(guān)損耗值。利用各部分組件表面鍍膜指標(biāo)的變化，降低了諧振效應(yīng)，使器件具有極低的波長相關(guān)抖動值。同時(shí)分析了影響該衰減器的其它光學(xué)性能的各個(gè)因素，包括動態(tài)范圍，插入損耗，回波損耗。 對器件裝配結(jié)構(gòu)進(jìn)行巧妙設(shè)計(jì)，對激光焊接的加212212藝進(jìn)行深層次的研究，完成了對整個(gè)器件的裝配，制作出了成品器件。