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文檔簡介
1、失效分析是研究產(chǎn)品失效機理、提高產(chǎn)品成品率和可靠性的重要技術(shù)措施。失效分析工作者要從不同渠道收集失效信息，解剖分析，搞清機理，給出數(shù)據(jù)，然后對元器件設(shè)計、材料和工藝提出改進的措施或方案，再經(jīng)質(zhì)量管理部門認(rèn)可并及時反饋到生產(chǎn)線，以提高產(chǎn)品質(zhì)量水平。
本文首先介紹了集成電路的歷史，半導(dǎo)體工藝的發(fā)展趨勢以及失效分析的重要地位。詳細(xì)闡述了失效分析的制作流程，其中包含了在實際生產(chǎn)實踐中的心得體會。重點進行了光學(xué)檢測，電子顯微鏡檢測和
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