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文檔簡介
1、浙江大學碩士學位論文用于高分辨率加速度計的PGC納米位移傳感器姓名:潘建彬申請學位級別:碩士專業(yè):光學工程指導教師:吳興坤20070615用于高分辨率加速度計的poc納米位移傳感器Nowadaysaccelerometershavegotaverybigmarketwhichcoversthefieldsofautomobile,aeroplaneandhomingformilitaryHoweveracceterometersdesi
2、gnedintraditionalwaycan’tsatisfytherequestforgoodresolution,bigdynamicrange,highlyintegrationandlowcostInordertoimprovethosecharacteristics,wedesignedaPGCbasednanodisplacement∞nsDrforhiighmsolutionaccelerometerStartingfr
3、omtheresearch011acceleromcter,displacementsensor,andtherelatedprogramming,wehavedonethefollowingwork:Firstfurtherunderstandingandresearchingoftheacnelerometerrelatedknowledgehavebeendonealsoaconclusionofexistingfabricati
4、ontechnologiesofaccelerometersandapredictionoftheirtrendindevelopmentBesidethatwedidananalysisontheadvantagesanddisadvantagesofmanykindsofaccelerometers;wealsodiscussedtheprimaryproblemsinfabricationtcohnologyAllthisputt
5、hedesignofPGCbasednanodisplacementscflsorforaccelerometerofhighresolutioninngooddirectionAfterthatdisplacementsystemofmanykindsofsensitivemassesanddetectsystemhavebeenstudied,therewerctheoreticalanalysisWealsohavestudied
6、theprinciplesofa街ustablecapacitiveaccelerometerandopticalaccelerometersofamplitudemodulationandphasemodulationPrinciplesofdisplacementmeasuringbyMichelson,MachZehnderandFabryPerotinterferometershavebeenthekeysubjectsThis
7、hasmadeagoodfoundationforourworkThenmanykindsofdemodulationtechnologiesoffiberbasedaccelerometershavebeenstudiedamongwhichtheonebasedoilphasegeneratedcarrierwasthekeysubjectThroughthatwemadetheblueprintanddiscussedittheo
8、reticallytoensureitspossibilityLastbutnottheleastafterthestudyingofCbasedonthetheoriesabovewedidtheprogrammingofapplicationollsignalprocessingWevalidatedourdesignexperimentallyThroughthedataanalysisoftheexperimentwehavec
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