MOCVD反應室內電磁場有限元分析.pdf

1、在GaN材料的生長過程中我們發(fā)現，設備MOCVD反應室中的溫度場分布是影響GaN晶體薄膜的重要因素。MOCVD中采用了高頻感應加熱的方法。由于反應室內的傳熱條件保持不變，因此，反應室內的電磁場和焦耳熱的分布決定了溫度場的分布。本文的選題即沿此展開，對MOCVD反應室有關電磁場分布的幾個問題進行了分析和討論。 本文采用有限元軟件ANSYS對MOCVD反應室進行了數值模擬，著重對影響反應室內電磁場分布的感應加熱條件，如線圈匝數、電流

2、強度、電流頻率等進行了分析和討論。經過模擬計算本文發(fā)現：1.隨著線圈匝數的增多，磁矢勢方向向石墨基座方向移動，加熱效率得到了提高。2.電流強度的改變并不影響電磁場的分布，焦耳熱的數值大小隨著電流強度的增大而增大。3.電流頻率的增加會使加熱效率得到提高。但是集膚深度會隨之降低，綜合考慮，本文確定了合適的頻率范圍。 另外為了提高石墨基座上的溫度均勻性，通過對焦耳熱分布圖的比較分析，優(yōu)化了線圈的位置和線圈的間距。 本文的模擬結