基于斐索干涉儀的納米測(cè)量機(jī)測(cè)頭的開(kāi)發(fā).pdf

1、隨著納米技術(shù)的發(fā)展，人們?cè)絹?lái)越需要測(cè)量和操縱很小的部件。以掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針技術(shù)的出現(xiàn)適應(yīng)了這個(gè)要求。但是，由于用作掃描器的材料——壓電陶瓷自身特性的限制，使得儀器的掃描范圍不能做得很大，一般不超過(guò)幾百μm，這大大限制了掃描探針技術(shù)的應(yīng)用范圍。因此，能實(shí)現(xiàn)大范圍、高精度移動(dòng)和定位的納米測(cè)量機(jī)將是未來(lái)微/納領(lǐng)域不可或缺的工具。 納米測(cè)量機(jī)主要由定位平臺(tái)和測(cè)頭兩部分組成，通過(guò)配合不同類(lèi)型

2、的傳感測(cè)頭，實(shí)現(xiàn)不同方式的測(cè)量。本文以現(xiàn)有德國(guó)SIS測(cè)頭為對(duì)象，基于一種新型的納米測(cè)量和定位機(jī)平臺(tái)，研究和開(kāi)發(fā)一種基于斐索干涉儀的納米測(cè)量機(jī)測(cè)頭。根據(jù)測(cè)頭信號(hào)檢測(cè)的要求，設(shè)計(jì)了信號(hào)處理，采集電路以及上位機(jī)軟件。 本論文的具體工作包括： (1)設(shè)計(jì)測(cè)頭的機(jī)械部分，包括壓電陶瓷管的選擇；探針夾持器的設(shè)計(jì)，探針的選用。 (2)基于光纖干涉法的斐索干涉儀光路的設(shè)計(jì)與搭建。包括激光器、光纖、分束鏡的選擇，微懸臂梁位移與光信