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文檔簡介
1、自從SAW(Surface Acoustic Wave，聲表面波)在1885年被英國物理學(xué)家瑞利發(fā)現(xiàn)以后，就引起了研究人員的高度重視，此后被廣泛應(yīng)用于通信、雷達、廣播和電視等領(lǐng)域。SAW傳感器是SAW技術(shù)的一個重要分支，是從十九世紀(jì)八十年代逐漸發(fā)展起來的傳感技術(shù)，它具有高精度、高靈敏度、低成本、低功耗、穩(wěn)定和輕巧等特點，并且易于實現(xiàn)對多種物理、化學(xué)和生物量的測量，因此在傳感器的世界中正占有越來越重要的地位。
本文針對SAW傳感
2、器技術(shù)進行了全面的研究，首先對SAW傳感器技術(shù)的歷史及其在國內(nèi)外的發(fā)展?fàn)顩r進行了歸納總結(jié)，隨后分析了SAW器件的工作原理，在此基礎(chǔ)上進一步系統(tǒng)地論述了SAW傳感器的一些基本概念，對SAW傳感器進行了分類，對各類SAW基本原理進行了分析，比較了各類SAW傳感器的主要結(jié)構(gòu)類型并進行了舉例說明，闡述了SAW傳感器在物理和化學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用。同時，詳細介紹了SAW傳感器的制造工藝。
在對SAW傳感器技術(shù)進行研究的基礎(chǔ)上，本文設(shè)計了一個S
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