顯微-CCD-微機(jī)系統(tǒng)微小物體二維尺寸自動(dòng)測(cè)試.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著激光加工技術(shù)、微機(jī)械等的發(fā)展，對(duì)微小物體的非接觸、高精度、自動(dòng)測(cè)試的要求在不斷提高。本文研制了一種測(cè)量微小物體尺寸的顯微-CCD-微機(jī)系統(tǒng)，編寫了測(cè)試程序。 系統(tǒng)的硬件部分主要由二維可移動(dòng)平臺(tái)、顯微物鏡、CCD相機(jī)、反射棱鏡，圖像采集卡和微機(jī)組成。并通過Visual C++程序完成了對(duì)微小物體二維尺寸的高精度，非接觸，自動(dòng)地檢測(cè)。顯微物鏡作為成像系統(tǒng)，CCD相機(jī)作為接收器件放在顯微物鏡的像面上，這樣被放大的工件就可以清晰的成

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