平行平板干涉測(cè)量技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、平行平板的測(cè)量在光學(xué)檢測(cè)和光學(xué)加工中有很重要的應(yīng)用，但是在平行平板的測(cè)量中，由于三表面干涉的干涉條紋重疊，運(yùn)用傳統(tǒng)的移相干涉術(shù)測(cè)量存在很大誤差。因而本課題的研究對(duì)于平行平板的面形及平行度測(cè)量有重要意義。文章研究了波長(zhǎng)移相干涉測(cè)量的原理，從時(shí)域和空域兩方面研究了傅立葉變換求解平行平板面形、平行度等參數(shù)的方法。搭建了波長(zhǎng)調(diào)諧干涉儀測(cè)量平行平板的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，采集了波長(zhǎng)移相多幅干涉圖。編寫程序?qū)Ω缮鎴D進(jìn)行時(shí)域和空域傅立葉變換得到干涉相位，通過(guò)計(jì)算

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