多功能的新型取樣光柵設(shè)計(jì)與制作.pdf

1、本論文圍繞多功能取樣光柵的設(shè)計(jì)和制作，進(jìn)行理論分析和實(shí)驗(yàn)研究，主要包含以下內(nèi)容： 首先介紹慣性約束核聚變（ICF）的研究意義和國際上取樣光柵（BSG）的研究進(jìn)展。然后根據(jù)目前取樣光柵的使用情況，通過合理設(shè)置相關(guān)光學(xué)結(jié)構(gòu)參數(shù)，設(shè)計(jì)滿足光程補(bǔ)償要求的取樣光柵對結(jié)構(gòu)。運(yùn)用MATLAB遺傳算法對兩塊光柵的八個記錄位置變量進(jìn)行優(yōu)化以達(dá)到消像差的目的，并用光柵衍射波像差理論分析其成像質(zhì)量。 在已設(shè)計(jì)的光柵對光學(xué)結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，使用ZEM

2、AX光學(xué)設(shè)計(jì)軟件，以ZPL程序語言用分步優(yōu)化的方法對光柵記錄參數(shù)進(jìn)行像差優(yōu)化，這為消像差取樣光柵對的設(shè)計(jì)提供了一種新途徑。 實(shí)驗(yàn)中無法達(dá)到理論設(shè)計(jì)的微米量級記錄數(shù)據(jù)精度，以實(shí)驗(yàn)可控制的毫米量級精度為基礎(chǔ)，以光柵對使用結(jié)構(gòu)對制作記錄參數(shù)誤差進(jìn)行補(bǔ)償，在理論上對補(bǔ)償結(jié)果以及誤差調(diào)節(jié)范圍進(jìn)行估算，同時給出誤差補(bǔ)償?shù)膶?shí)驗(yàn)調(diào)節(jié)方法。 最后，實(shí)驗(yàn)制作了小口徑取樣光柵，建立實(shí)驗(yàn)檢測系統(tǒng)。對取樣光柵對進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測量和理論對比分析。結(jié)果表明