可用于LIGA光束線上的準直、聚焦系統(tǒng)的研究.pdf

1、本論文的第一章介紹了LIGA技術的基本知識和LIGA技術的發(fā)展方向和LIGA技術對同步輻射光光源、波長、能量分布的要求，說明了同步輻射光影響LIGA技術的因素，同時對于光束線中的準直、聚焦元件對光束性能的重要性進行了說明。第二章介紹了用于同步輻射光束線上的壓彎機構，討論了壓彎機構的壓彎、聚焦原理，進而建立了壓彎機構工作過程的仿真模型并仿真了壓彎機構的工作過程，最后對壓彎過程中的特殊現(xiàn)象—反翹進行了仿真。利用仿真結果，給出了出現(xiàn)這種現(xiàn)象

2、的合理的解釋。第三章介紹了同步輻射光束線上的光學元件的受熱情況和熱變形的原因，給出了其熱學原理；使用XOP軟件對光束線上的部分光學元件的光學特性進行了仿真模擬，得到了光學元件的特性參數(shù)和光束線的特性參數(shù)，利用該程序處理了光束線中的能量分布，并計算了在鏡子表面上的能量沉積；利用有限元軟件—ANSYS仿真了鏡子表面上的能量分布情況，并進行了水冷裝置的初步設計。最后的兩章對仿真結果與實際測試的結果進行了比較，由此說明了仿真方法的可行性。最