NiCr合金薄膜的制備與特性研究.pdf

1、本論文主要研究了在壓力傳感器中有重要應(yīng)用前景的NiCr合金薄膜的制備、表征、微觀結(jié)構(gòu)和電學特性。包括如下幾個方面內(nèi)容：首先，回顧了NiCr合金薄膜的發(fā)展和有關(guān)研究結(jié)果。然后采用磁控和離子束濺射兩種方法制備出了NiCr合金薄膜，采用離子束方法制備了含氮NiCr合金薄膜，對濺射態(tài)的薄膜樣品進行了熱處理。用EDX、AFM、xRD、Alpha-step IQ臺階儀、標準四探針法(FPP)等測試分析手段對薄膜成分、微觀結(jié)構(gòu)、厚度、電學特性等進行了

2、研究，同時采用懸臂法和自行設(shè)計的實驗裝置測量了薄膜的電阻應(yīng)變系數(shù)(GF)、電阻溫度系數(shù)(TCR)。通過試驗結(jié)果分析得到如下主要結(jié)論：采用磁控共濺射方法和離子束濺射方法可有效、準確控制NiCr合金薄膜的厚度：采用磁控共濺射方法，以調(diào)節(jié)靶材濺射功率為基礎(chǔ)，考慮薄膜元素的濺射產(chǎn)額可以控制薄膜組分比；不同厚度薄膜樣品的AFM和FPP研究表明薄膜表觀顆粒尺寸隨厚度有增大趨勢，而電阻率隨厚度增大而減小：熱處理后的薄膜XRD、TCR、電阻特性表明熱處