射頻磁控濺射法制備CeO-,2--TiO-,2--SnO-,2-：Sb截止紫外線和透明導(dǎo)電雙功能薄膜.pdf

1、CeO2-TiO2薄膜具有高折射率和優(yōu)異的截止紫外線性能，同時SnO2：Sb薄膜具有良好的導(dǎo)電性和光學(xué)特性。綜合這兩種薄膜的性能，在玻璃上用射頻磁控濺射工藝制備具有截止紫外線和透明導(dǎo)電雙功能復(fù)合薄膜，這是本論文的獨特和創(chuàng)新之處。 本文自制了SnO2：Sb(6﹪mol)靶材和一系列不同摩爾比的CeO2-TiO2靶材，用射頻磁控濺射工藝在玻璃基片上沉積了一系列CeO2-TiO2薄膜、SnO2：Sb(6﹪mol)薄膜，在此基礎(chǔ)上，制備

2、了CeO2-TiO2/SnO2：Sb(6﹪mol)雙層薄膜和SnO2：Sb/CeO2-TiO2雙層薄膜。深入系統(tǒng)地研究CeO2-TiO2薄膜在不同物質(zhì)的量濃度比(Ce/Ti)下對截止紫外線性能的影響；比較了SnO2：Sb/CeO2-TiO2薄膜與CeO2-TiO2/SnO2：Sb(6﹪mol)薄膜的截止紫外線和反射紅外線的效果。利用現(xiàn)代測試分析方法對薄膜的結(jié)構(gòu)與性能進(jìn)行了研究，得出如下結(jié)論： 1)CeO2-TiO2薄膜截止紫外線

3、性能比純TiO2、純CeO2薄膜的效果好。當(dāng)Ce/Ti摩爾比為0.5：0.5或0.6：0.4時，X-射線衍射分析表明，CeO2-TiO2薄膜呈現(xiàn)無定形非晶結(jié)構(gòu)，對紫外線截止的效果最佳；XPS分析表明，薄膜表面上存在Ti4+、Ce3+和Ce4+；TEM分析表明，薄膜由三個相組成，分別是CeO2(CaF2類型)，TiO2(金紅石)和過渡相CeO16·2TiO2。在薄膜的生成過程中優(yōu)先生成TiO2和CeO2相，而不是CeO1.6·2TiO2相

4、。CeO2-TiO2、CeO2和TiO2薄膜的光能躍遷為間接躍遷形式，通過計算分析得到的光學(xué)帶隙寬度為：Eg(CeO2-TiO2)＜Eg(CeO2)＜Eg(TiO2)。 2)CeO2-TiO2/SnO2：Sb(6﹪mol)雙層薄膜具有高的截止紫外線(＞99﹪)和可見光透過率(75﹪)，方塊電阻在70～90Ω/□之間，電阻率在3.2～3.6×10-3Ω·cm之間。 3)無論CeO2-TiO2薄膜在內(nèi)層還是在外層，雙層薄膜可