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文檔簡介
1、 本文對太陽電池中CdTe多晶薄膜的制備及其性能進行了研究,主要取得了以下進展: 1.采用近空間升華沉積CSS法制備CdTe多晶薄膜的原理在于,CdTe在一定溫度下的升華和凝結過程。由于CdTe升華溫度在470℃左右,CdS升華溫度在630℃左右,當源上的CdTe升華分解為Cd、Te2時,襯底上的CdS仍然穩(wěn)定。 2.在氬氧氣氛下,氧濃度為9%時,不同氣壓下制備的樣品,均有立方相CdTe。此外,還有CdS和SnO2
2、∶F衍射峰。CdTe晶粒隨氣壓增加有減小趨勢,隨氣壓的增加,透射率呈下降趨勢,相應的CdTe吸收邊向短波方向移動。 3.研究了退火氣氛對電池性能的影響。太陽電池J-V曲線的測試結果表明,用經(jīng)過后處理的CdTe薄膜制備的電池性能較好,而有氧氣氛下后處理的樣品性能要比純氮氣氣氛后處理的好。不同氧氣氣氛下后處理的樣品的性能差別不是很大。 4.通過研究確定了目前最好的近空間制備CdTe多晶薄膜的工藝為:通過采用優(yōu)化的升溫方法,在
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