基于化學(xué)敏感場(chǎng)效應(yīng)傳感器的設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、化學(xué)敏感場(chǎng)效應(yīng)管是利用化學(xué)極化場(chǎng)效應(yīng)來控制固體材料導(dǎo)電性能的有源器件。具有體積小、靈敏度高等特點(diǎn),將來可望在分子識(shí)別、痕量分析及微生物檢測(cè)方面得到廣泛的應(yīng)用。
　　首先,采用簡單的加工方法,加工、制作出了基于硅片的化學(xué)極化場(chǎng)效應(yīng)傳感器。通過測(cè)試其穩(wěn)定性及分子組裝前、后器件電流導(dǎo)通性能的變化,發(fā)現(xiàn)這種器件具有一定的整流特性,且導(dǎo)通電流隨分子鏈增加而增大。但因制作工藝所限和測(cè)試環(huán)境的影響,其穩(wěn)定性較差。
　　在前述工作的基礎(chǔ)上,

2、本文采用微電子工藝技術(shù),設(shè)計(jì)、制作了對(duì)有機(jī)分子敏感的化學(xué)極化場(chǎng)效應(yīng)傳感器,研究了有機(jī)分子的結(jié)構(gòu)對(duì)化學(xué)敏感場(chǎng)效應(yīng)器件的導(dǎo)通特性的影響。并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,取得了較為滿意研究和實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
　　最后,利用分子自組裝技術(shù)在芯片上組裝不同結(jié)構(gòu)的有機(jī)分子層,研究了不同鏈長的飽和羧酸、胺、醇及羧酸鹽、烷基氯化銨等有機(jī)分子對(duì)芯片導(dǎo)通特性的影響,測(cè)定了組裝不同分子膜后的I-V特性曲線。結(jié)果表明,組裝不同鏈長的飽和羧酸、胺、醇等有機(jī)分子時(shí),傳感器的導(dǎo)通