陣列式硅微陀螺儀結(jié)構(gòu)設(shè)計技術(shù)研究.pdf

1、硅微機械陀螺儀是一種有著廣闊應(yīng)用前景的新型慣性器件，目前國內(nèi)主要采用單個陀螺結(jié)構(gòu)形式。由于設(shè)計水平、檢測電路特別是加工工藝條件的限制，精度較低，同時單個陀螺結(jié)構(gòu)的硅微陀螺儀容易受到軸向加速度干擾，環(huán)境適應(yīng)性較差。本文探索另一種結(jié)構(gòu)形式，即陣列式硅微陀螺儀，利用硅微機械加工技術(shù)一次成型、批量加工的特點，在單片上集成多個陀螺結(jié)構(gòu)，通過數(shù)據(jù)融合技術(shù)獲得高于單個陀螺性能的綜合性能，是提高硅微陀螺儀技術(shù)水平的又一條途徑。
　　論文首先綜述硅

2、微機械陀螺儀的國內(nèi)外發(fā)展狀況，分析硅微機械陀螺儀的結(jié)構(gòu)設(shè)計技術(shù)和工作機理，為陣列式硅微陀螺儀的結(jié)構(gòu)設(shè)計提供依據(jù)和指導(dǎo)。
　　其次，分析軸向加速度對硅微陀螺儀的影響和數(shù)據(jù)融合技術(shù)的基本原理，基于硅微陀螺儀結(jié)構(gòu)設(shè)計原則，設(shè)計陣列式硅微陀螺儀的基本結(jié)構(gòu)。通過分析比較幾種陣列式硅微陀螺儀的組合方式，選擇四陀螺單元進行組合。利用有限元分析方法對所提出的兩種整體設(shè)計方案進行模態(tài)分析，確定優(yōu)選方案。
　　第三，進行陣列式硅微陀螺儀的應(yīng)力場