高氣壓輝光放電及其開關(guān)電源的研究.pdf

1、微空心陰極放電(MHCD)是在普通空心陰極放電的基礎(chǔ)上提出的一種高氣壓下亞毫米級微放電技術(shù)。將MHCD作為大體積輝光放電的外部電離源(即等離子體源)，可以解決高氣壓下大體積輝光放電不穩(wěn)定的問題。本文首先對微空心陰極放電基本原理的研究進(jìn)展進(jìn)行了綜述，然后詳細(xì)論述了微空心陰極維持輝光放電(MCSD)和放電等離子體源，以及MCSD的放電參數(shù)和運(yùn)行方式對產(chǎn)生大體積高壓輝光放電等離子體源的影響；最后，再對微空心陰極維持輝光放電的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)進(jìn)行了詳細(xì)

2、介紹，并對其放電特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)討論。 在MCSD實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，研制出可對MCSD氣體放電模式（連續(xù)/脈沖）和輸出功率進(jìn)行調(diào)控的開關(guān)電源。文中詳細(xì)論述了開關(guān)電源的主電路、控制電路和驅(qū)動電路的組成及設(shè)計(jì)。此外，這種開關(guān)電源還可以跟單片機(jī)、微機(jī)等其他外部控制設(shè)備相連。此開關(guān)電源采用全橋軟開關(guān)技術(shù)，串聯(lián)諧振并聯(lián)輸出，四個MOSFET管為主控制元件，實(shí)現(xiàn)了高頻工作，響應(yīng)快速。脈沖模式工作時避免了開關(guān)管的硬開關(guān)，減小了高次諧波對電網(wǎng)干擾；無