基于孔縫懸臂梁結(jié)構(gòu)的新型壓阻式硅微加速度傳感器研究.pdf

1、本論文以國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目“基于蜘蛛振動感知機(jī)理的仿生多維微拾振構(gòu)件及應(yīng)用基礎(chǔ)研究”(項(xiàng)目編號：50675193)為背景，基于MEMS主要加工技術(shù)提出了一種小量程的孔縫懸臂梁—質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)的新型壓阻式硅微加速度傳感器，通過理論分析、有限元仿真對傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制作工藝進(jìn)行了深入研究，并對傳感器性能進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證．
　　 第一章，闡述了本論文的研究背景與意義，介紹了MEMS的主要加工技術(shù)和應(yīng)用。對壓阻式硅微加速度傳感器的發(fā)展歷程

2、以及還存在的問題做了詳細(xì)介紹。在此基礎(chǔ)上提出論文的主要研究內(nèi)容。
　　 第二章，深入分析了壓阻效應(yīng)，建立了無孔縫懸臂梁壓阻式硅微加速度傳感器的力學(xué)模型，在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了結(jié)構(gòu)的應(yīng)力分析、固有頻率分析及阻尼分析，最終完成孔縫懸臂梁壓阻式硅微加速度傳感器的參數(shù)設(shè)計(jì)。
　　 第三章，對孔縫懸臂梁壓阻式硅微加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行有限元仿真分析，包括靜態(tài)分析、模態(tài)分析和諧響應(yīng)分析，結(jié)果表明傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理。
　　 第四章，