毫米波MEMS天線陣列基礎(chǔ)技術(shù)研究.pdf

1、本論文課題來源于國防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金項(xiàng)目——毫米波MEMS天線陣列基礎(chǔ)技術(shù)研究。論文前期主要包括以下四個(gè)方面的工作：（1）介紹了口徑耦合微帶貼片天線的兩種分析方法——傳輸線模型法和空腔模型法，以及相位權(quán)重超分辨率方法（PWSM）的原理。（2）設(shè)計(jì)并實(shí)測了一套毫米波段的1×8口徑耦合微帶天線陣列，對貼片單元的互耦、饋線間的寄生輻射、波導(dǎo)——微帶探針轉(zhuǎn)換、測量誤差、加工誤差等問題一一做了闡述。（3）詳細(xì)分析了MEMS開關(guān)的工作原理，用Anso

2、ft HFSS對電容耦合型MEMS開關(guān)和金屬接觸型MEMS開關(guān)仿真優(yōu)化。（4）為組成角度超分辨率相控天線陣的0－πMEMS移相器擬定了設(shè)計(jì)方案：開關(guān)線型MEMS移相器，在ADS中進(jìn)行仿真優(yōu)化并實(shí)際加工制作了帶有開關(guān)線型移相器的口徑耦合微帶天線陣。論文的后期工作主要是對帶有開關(guān)線型移相器的口徑耦合微帶天線陣列做大量的實(shí)測，分析測量結(jié)果并提出有效的改善方案。最后天線陣列的實(shí)測結(jié)果為在34.2GHz-36GHz范圍內(nèi)，VSWR≤2；35GHz