反射式金屬光柵盤研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、反射式金屬光柵是指在金屬基板上制作出的高反射率線條（作為光柵亮條紋）和低反射率線條（作為光柵暗條紋），金屬基板相對于玻璃基板來說存在許多優(yōu)點，如：金屬抗沖擊能力強(qiáng)、抗輻射能力強(qiáng)；但同時也存在一些缺點，如：金屬基板加工困難、金屬光柵膜系較復(fù)雜、金屬光柵復(fù)制較困難等。
　　本文對反射式金屬光柵工藝流程進(jìn)行了較深入的研究，并從關(guān)鍵單元工藝技術(shù)研究著手進(jìn)行了反射式金屬光柵工藝參數(shù)探索試驗，得出了一整套復(fù)制反射式金屬光柵盤的工藝參數(shù)，根據(jù)這

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