硅中氫對(duì)氮氧復(fù)合體及氮的作用的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該言語為了探討氫對(duì)氮氧復(fù)合體、氫對(duì)氮的作用,采用了在氫所氛中退火、氫等離子體處理和氫離子注入等三種方法在硅中引入氫.實(shí)驗(yàn)工作表明利用自行設(shè)計(jì)的真傾家蕩產(chǎn)退火爐可以安全地實(shí)現(xiàn)硅片在氫氣氛中退火.在低溫氫氣氛退火時(shí),由于進(jìn)行硅中氫的量很少,氫對(duì)氮氧復(fù)全體的作用很不明顯.通過分析氫與在中紅外區(qū)產(chǎn)生吸收峰的氮氧復(fù)合體(m-N-O)的作用,研究人員認(rèn)為m-N-O與在遠(yuǎn)紅外區(qū)產(chǎn)生吸收峰的氮氧復(fù)合體(f-N-O)的同源的,它們者是淺施主.氫等離子體和

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