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文檔簡介
1、近場掃描光學顯微鏡(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的分辨率突破了傳統(tǒng)光學顯微鏡分辨率的衍射極限,自80年代中期以來獲得了很大的發(fā)展。到目前為止國外報道的NSOM的縱向分辨率最優(yōu)可達到0.01nm<'[1]>。NSOM同時具有傳統(tǒng)光學顯微鏡及掃描探針技術的優(yōu)點,能對各種人工微細結(jié)構,如光柵、光波導、半導體結(jié)構以及磁光材料、量子器件、等成像,展示其在材料科學、信息科學、生物科學等領域
2、廣闊的應用前景??梢灶A見NSOM的應用前景將會非常廣闊。 本文對高速NSOM的發(fā)展現(xiàn)狀和應用前景進行了綜述,研究了影響NSOM掃描速度的各個因素。對音叉探針—樣品作用系統(tǒng)和壓電陶瓷管系統(tǒng)建模并進行了理論分析。設計了恒振幅探針-樣品間距反饋控制系統(tǒng),實驗表明恒振幅反饋電路的引進有助于提高探針系統(tǒng)的響應速度和靈敏度,改善所得圖像的質(zhì)量及分辨率。研制了基于石英晶體振蕩器(Quartz Crystal Resonance,QCR)的新型
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